紫荆光刻技术申请大口径超透镜制备方法及超透镜专利, 同步解决超透镜制造中大口径、复杂纳米结构阵列与低成本、高效率难以兼顾的问题

国家知识产权局信息显示，紫荆光刻技术（深圳）有限公司申请一项名为“一种大口径超透镜制备方法及超透镜”的专利，公开号CN122307796A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本发明实施例涉及微纳光学技术领域，公开了一种大口径超透镜制备方法及超透镜，该方法包括：对第一基板进行旋涂以在第一基板表面形成光敏层，采用激光干涉在光敏层上形成呈周期性分布的纳米条纹，得到处理后的第一基板；根据目标超透镜的相位分布图对处理后的第一基板进行选择性灰度曝光、显影、蚀刻处理，得到具有纳米结构阵列的压印母版；以压印母版为模板，采用压印工艺和电镀工艺制得与纳米结构阵列对应的金属硬掩模；以金属硬掩模为刻蚀阻挡层，对目标基板进行刻蚀，在目标基板上形成纳米结构阵列，获取所述目标超透镜。本发明实施例同步解决了超透镜制造中大口径、复杂纳米结构阵列与低成本、高效率难以兼顾的问题。

天眼查资料显示，紫荆光刻技术（深圳）有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，紫荆光刻技术（深圳）有限公司专利信息2条，此外企业还拥有行政许可6个。

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